Wawasan Industri|Betapa Kritikal Ketulenan Gas dalam Pembuatan Semikonduktor?

Konsensus yang mantap-terutama dalam pembuatan semikonduktor: had atas prestasi cip ditentukan oleh reka bentuk, manakala had bawah hasil pengeluaran bergantung pada ketulenan bahan.

Gambar diambil dari internet.

Daripada pembersihan wafer dan pemendapan-filem nipis kepada pengelasan dan doping, proses pengeluaran untuk wafer 12-inci tunggal melibatkan lebih daripada 30 jenis gas proses, termasuk silan, ammonia, trifluorida nitrogen, tungsten heksafluorida, hidrogen klorida dan banyak lagi. Setiap gas mesti dihantar ke ruang tindak balas pada ketulenan ultra tinggi.

Surih kekotoran pada tahap ppb (kelembapan, oksigen, bahan zarahan) yang memasuki paip gas boleh mencetuskan-kecacatan filem nipis dan pencemaran antara muka, secara langsung menyeret ke bawah hasil pengeluaran. Mengambil proses 3nm sebagai contoh, setiap cip individu bernilai ratusan dolar AS; turun naik hanya 1% dalam hasil sudah cukup untuk memadamkan keuntungan yang bernilai berpuluh juta.

Dalam industri semikonduktor, "ketulenan tinggi" tidak sama dengan "proses-sedia". Cabaran sebenar terletak pada pengekalan ketulenan - mengekalkan pencemaran-gas bebas di seluruh laluan penghantaran dari sumber gas ke tempat penggunaan (POU).

Tiga perlindungan teras berfungsi seiring untuk mencapai matlamat ini:

(1) Pemilihan Bahan: Badan tiub dan injap dihasilkan daripada keluli tahan karat 316L lebur dua kali VIM+VAR untuk meminimumkan gas keluar unsur daripada bahan asas.

(2) Kemasan Permukaan: Kekasaran permukaan dalaman Ra Kurang daripada atau sama dengan 0.25 μm (10 μin.) dengan rawatan elektropolishing (EP) untuk mengurangkan lekatan zarah dan penjerapan lembapan.

(3) Integriti Pengedap Hermetik: Kadar kebocoran helium Kurang daripada atau sama dengan 1×10⁻⁹ atm·cc/saat untuk menyekat kemasukan pencemaran luaran sepenuhnya.

VIGOR VUPS Ultra-Barisan produk Ketulenan Tinggi meliputi rantaian penghantaran gas penuh yang mematuhi piawaian SEMI, termasuk kelengkapan pengedap muka logam VCR-, injap diafragma ketulenan tinggi-dan dua-pengawal selia tekanan.

Semua produk dipasang, diuji dan berganda-vakum beg-dibungkus dalam bilik bersih Kelas 100 sebelum penghantaran. Apa yang pelanggan terima bukan sahaja injap individu, tetapi palam lengkap-dan-main sistem jaminan ketulenan ultra-tinggi.

Produk VIGOR telah beroperasi dengan pasti dalam sistem penghantaran gas khusus dan saluran paip bekalan gas CVD/PVD di pelbagai fabrik wafer, serasi dengan gas proses kritikal seperti silane, nitrogen trifluorida dan boron trichloride.

Pembuatan semikonduktor ialah perlumbaan yang tidak berkesudahan terhadap bahan cemar - dan misi VIGOUR adalah untuk memastikan garisan permulaan yang paling bersih untuk perlumbaan ini.