Untuk sekeping tiub keluli tahan karat 316L yang sama, harga boleh berbeza-beza beberapa kali ganda. Rahsianya bukan terletak pada ketebalan dinding, tetapi pada permukaan dalaman. Semakin tinggi ketulenan gas yang diperlukan, semakin ketat tuntutan yang dikenakan pada "kulit" dalaman tiub. Tiga sebutan AP, BA dan EP mewakili tiga piawaian penggredan yang ditentukan industri untuk permukaan dalam tiub.
▌Gred 1: AP - Gred asas yang diproses secara mekanikal
Tiub AP (Acid Pickling) menjalani penjerukan asid untuk membuang skala permukaan dan bahan cemar, menghasilkan permukaan dalam yang agak kasar. Ia bertujuan untuk paip gas industri tujuan am. Kelebihannya ialah kos rendah dan masa plumbum yang singkat, sesuai untuk aplikasi dengan zarah longgar dan keperluan kekotoran, seperti udara termampat biasa dan talian pembersihan nitrogen.
▌Gred 2: BA - Gred terang‑anil dengan ketulenan tinggi
Tiub BA (Bright Annealing) disepuhlindapkan di bawah atmosfera hidrogen atau vakum untuk membentuk filem pasif padat pada permukaannya, mencapai kekasaran permukaan dalam Ra＜0.4 μm. Berbanding dengan tiub AP, tiub BA memberikan permukaan yang lebih licin, rintangan kakisan yang unggul dan penjerapan zarah dan lembapan yang berkurangan dengan ketara. Ia digunakan secara meluas untuk pengangkutan gas ketulenan tinggi.
▌Gred 3: EP - Gred elektro‑digilap premium
Tiub EP (Electro‑Polishing) digilap elektro lagi berdasarkan rawatan BA. Dengan tiub berfungsi sebagai anod, puncak permukaan dilarutkan dalam elektrolit untuk meratakan permukaan dalam, menghasilkan kekasaran 5‑10 μin Ra (lebih kurang . 0.13‑0.25 μm). Penggilapan elektro memberikan permukaan dalaman yang licin cermin, menghapuskan sisa zarah logam dan pencemaran yang disebabkan oleh proses, dan menghasilkan lapisan pasif yang kaya dengan kromium - keperluan wajib untuk tiub yang digunakan dalam sistem gas ketulenan ultra-tinggi semikonduktor.
VIGOR - Mengapa EP wajib untuk semikonduktor
Dalam pembuatan wafer, walaupun zarah logam kecil atau molekul lembapan yang terlarut daripada dinding tiub boleh mencetuskan kecacatan wafer. Permukaan yang kasar bertindak seperti span yang memerangkap kotoran: ia menyerap lembapan dan kekotoran, yang kemudiannya dilepaskan perlahan-lahan dari semasa ke semasa. Sebaliknya, permukaan EP yang licin dan padat tidak meninggalkan tempat untuk zarah dan lembapan melekat, dan secara drastik memotong masa kitaran pembersihan dan pertukaran. Tiub EP membentuk penghalang fizikal pertama yang melindungi ketulenan untuk pengedaran gas ketulenan ultra-tinggi.
Perbandingan tiga gred & produk VIGOR yang sepadan
| Gred | Proses | Kekasaran Permukaan | Aplikasi Biasa | VIGOR Setaraf |
|---|---|---|---|---|
| Gred AP | Penjerukan Asid & Pasif | Agak kasar | Paip gas industri am | Siri VTUBE (Gred AP) |
| Gred BA | Penyepuhlindapan Terang | Ra < 0.4 μm | Gas ketulenan tinggi, bahan kimia elektronik | Siri VTUBE (Gred BA) |
| Gred EP | Penggilap Elektro | 5–10 μin. Ra | Litar gas ketulenan ultra-tinggi semikonduktor | Siri VTUBE (Gred EP), Produk Ultra-Ketulenan Tinggi VUPS |
Perlu diingat bahawa gred bahan dan rawatan permukaan adalah spesifikasi kumulatif. VIGOR VUPS siri ketulenan ultra-tinggi: model UB menggunakan substrat 316L standard dengan kemasan permukaan Ra 10/25 μin; model UC dinaik taraf kepada substrat 316L cair semula dengan kemasan permukaan Ra 5/7/10 μin. Kedua-dua ketulenan bahan dan kelicinan permukaan dinaikkan untuk mengoptimumkan prestasi permukaan dalam. Apabila memilih tiub, satu soalan utama harus dipertimbangkan: gred "kulit" permukaan dalam yang manakah sepadan dengan keperluan ketulenan gas anda?
