VIGOUR>>Spesifikasi Proses Fotovoltaik VS001B
Skop
Dokumen ini menyatakan garis panduan yang digunakan oleh Syarikat VIGOR untuk menghasilkan produk keluli tahan karat yang bertujuan untuk aplikasi fotovoltaik (PV). Dokumen ini mesti digunakan bersama dengan katalog produk, buletin teknikal dan laporan untuk maklumat produk yang lengkap. Penggunaan dokumen ini terhad kepada komponen sistem yang dibasahi.
Reka bentuk
Produk direka bentuk dengan mengambil kira piawaian industri berfungsi khusus. Jika keputusan ujian khusus wujud dalam literatur, piawaian berikut boleh digunakan:
■ Analisis kelembapan mengikut ASTM F1397,"Kaedah Ujian Standard untuk Penentuan Sumbangan Kelembapan oleh Komponen Sistem Pengedaran Gas"
■ Analisis hidrokarbon mengikut ASTM F1398,"Kaedah Ujian Standard untuk Penentuan Jumlah Sumbangan Hidrokarbon oleh Komponen Sistem Pengagihan Gas"
■ Kebersihan ionik menurut ASTM F1374,"Kaedah Ujian Standard untuk Penentuan Bahan Ekstrak Ionik / Organik Permukaan Dalaman-IC/GC/FTIR untuk Komponen Sistem Pengedaran Gas."
Garis Panduan Bahan
Keluli tahan karat ialah industri-bahan pilihan untuk produk UHP yang digunakan dalam sistem gas kerana sifat sedia ada rintangan kakisan dan pengoksidaan. Keluli tahan karat karbon rendah-jenis AISI 316L (UNS S31603) paling biasa digunakan dalam industri kerana rintangan kepada kakisan antara butiran berikutan kimpalan atau pelepasan tekanan.
Stok bar keluli tahan karat mematuhi piawaian berikut:
■ ASTM A479, "Tahan Tahan Karat dan Haba-Bar dan Bentuk Tahan untuk Digunakan dalam Dandang dan Kapal Tekanan Lain"
■ ASTM A484, "Spesifikasi untuk Keperluan Am untuk Tahan Karat dan Haba-Bar, Bilet dan Penempaan"
■ ASTM A276, "Tahan Tahan Karat dan Haba-Bar dan Bentuk Tahan"
■ SEMI F20-0305, "Spesifikasi untuk Bar Keluli Tahan Karat 316L, Penempaan, Bentuk Tersemperit, Plat dan Tiub untuk Komponen yang Digunakan dalam Tujuan Umum, Ketulenan Tinggi dan Aplikasi Pembuatan Semikonduktor Ketulenan Sangat Tinggi."
■ Pemprosesan keluli utama adalah sama ada penyahkarburan oksigen argon (AOD) atau peleburan aruhan vakum (VIM). Operasi relt sekunder seperti relt arc vakum (VAR) boleh digunakan untuk kebersihan tambahan komponen yang dibasahi.
■ Keperluan utama unsur tertentu dalam solekan kimia-telah diperketatkan oleh VIGOR untuk lebih konsisten solekan kimia-; lihat Jadual 1.
Jadual 1: Spesifikasi VIGOR, % berat
Pengesahan produk keluli tahan karat termasuk tetapi tidak terhad kepada yang berikut:
■ Pematuhan bahan disahkan menurut Amalan A ASTM A262, "Amalan Piawai untuk Mengesan Kecenderungan kepada Serangan Antara Berbutir dalam Keluli Tahan Karat Austenitik."
■ Komposisi kimia disahkan menurut ASTM A751, "Kaedah Ujian, Amalan dan Terminologi untuk Analisis Kimia Produk Keluli."
■ Kualiti permukaan disahkan melalui ujian ultrasonik mengikut ASTM E214, "Amalan Ujian Ultrasonik Terendam dengan Kaedah Refleksi Menggunakan Gelombang Membujur Berdenyutan" atau melalui ujian arus pusar yang dilakukan mengikut piawaian Swagelok.
■ Kemasukan dikesan dengan melakukan ujian JK menurut ASTM E45, "Amalan Piawai untuk Menentukan Kandungan Kemasukan Keluli, Kaedah A," dengan penilaian berdasarkan Plat I-r.
Pengilangan dan Kemasan Permukaan
Semasa pembuatan, dimensi dan kemasan permukaan dipantau dengan teliti. Setiap komponen yang dimesin mempunyai kemasan permukaan yang sangat halus, peralihan yang lancar, laluan aliran sapuan sepenuhnya, dan hujung kimpalan segi empat sama untuk meminimumkan bilangan zarah yang terperangkap atau terhasil.
■ Kriteria kekasaran/penamat permukaan adalah berdasarkan SEMI F19,"Spesifikasi untuk Keadaan Permukaan Permukaan Dibasahi Komponen Keluli Tahan Karat"dan prosedur SEMI F37, "Kaedah Penentuan Parameter Kekasaran Permukaan untuk Komponen Sistem Pengedaran Gas."
■ Kekasaran permukaan basah Ra bagi produk keluli tahan karat ketulenan ultra-tinggi selepas penggilap elektrolitik adalah kurang daripada 8μin (0.20μm), dan kekasaran permukaan basah Ra tanpa penggilap elektrolitik adalah kurang daripada 15μin (0.40μm).
■ Nombor kekasaran VIGOR yang diterbitkan dalam katalog produk merujuk kepada min proses, atau nilai kekasaran yang mewakili purata aritmetik untuk proses pengeluaran tertentu mengikut SEMI F37.
■ Kekasaran/kemasan permukaan disahkan dengan menggunakan instrumen pemprofilan yang sesuai mengikut ASME B46.1. Pengukuran diambil ke atas panjang maksimum yang tersedia bagi pemasangan atau lubang injap, tidak termasuk permukaan tirus, persimpangan atau kimpalan.
Electropolishing dan Passivation
Bahagian ini merujuk kepada produk elektropolish sahaja.
Permukaan pelengkap dan badan injap yang dibasahi digilap secara elektro untuk memperbaiki keadaan permukaan dan membentuk lapisan permukaan tahan kakisan kromium oksida. Selepas elektropolishing, semua permukaan dipasifkan untuk mengeluarkan besi bebas.
■ Proses penggilap elektro adalah berdasarkan ASTM B912,"Spesifikasi Standard untuk Pempasifan Keluli Tahan Karat Menggunakan Penggilap Elektronik" dan diproses menggunakan lekapan tersuai.
■ Proses pembersihan pasif dan pra-pengilapan adalah berdasarkan ASTM A380, "Pembersihan, Penyahkekal dan Pempasifan Bahagian, Peralatan dan Sistem Keluli Tahan Karat."
■ Pengesahan penggilap elektro dan pempasifan dilakukan mengikut kaedah ujian dalam bahagian 6 ASTM B912,"Spesifikasi Standard untuk Pempasifan Keluli Tahan Karat Menggunakan Penggilap Elektronik."
Suhu Pitting Kritikal Elektrokimia
Bahagian ini merujuk kepada produk elektropolish sahaja.
Ujian suhu pitting kritikal elektrokimia (CPT), berdasarkan ASTM G150, digunakan untuk menentukan rintangan kepada kakisan pitting setempat. Ujian CPT mengukur suhu di mana ketumpatan arus meningkat dengan cepat melebihi had yang ditetapkan pada potensi elektrik yang ditetapkan. Larutan natrium klorida digunakan, dan potensi elektrik dikekalkan malar di kawasan pempasifan. Suhu kakisan kritikal harus lebih besar daripada 10 darjah.
Pembersihan dan Pengeringan
Sistem pembersihan air DI ditutup kepada persekitaran luar dan dengan itu mengehadkan pencemaran zarah. Produk dibersihkan dalam proses berbilang langkah melalui satu siri pencucian ultrasonik yang dipanaskan, pembilasan air DI dan ruang pengeringan yang ditapis. Ejen pembersih dipilih mengikut ASTM G127.
■ Ciri air DI adalah berdasarkan garis panduan ASTM D5127 Type E-3, "Panduan Piawai untuk Air Ultra Tulen yang Digunakan dalam Industri Elektronik dan Semikonduktor."
Jadual 2: Ciri Air DI

Perhimpunan dan Pengujian
Untuk melindungi bahagian daripada pencemaran bawaan udara, bahagian dilindungi dan diangkut terus dari sistem pembersihan yang telah ditetapkan ke sel kerja bersih untuk pemasangan dan ujian.
Pembungkusan dan Pengenalan
■ Prosedur pembungkusan dan pengenalan memenuhi keperluan SEMI E49.6, "Panduan untuk Pemasangan Subsistem dan Prosedur Pengujian-Sistem Keluli Tahan Karat"untuk produk tahan karat.
■ produk dibungkus untuk memastikan produk bebas daripada bahan cemar luar semasa penghantaran. Maklumat pengenalan dan kebolehkesanan boleh dilihat tanpa membuka produk.

